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安川 SEMISTAR-MR124 半導體晶片搬運用機器人
浏覽: 發布日期:2018-06-21

       安川 SEMISTAR-MR124 半導體晶片搬運用機器人适用于晶元搬運SEMISTAR-M系列升級版,引領業界的高性能!供應EFEM模塊全套設備。300枚/小時的高速搬運。

       半導體晶片搬運用機器人
       負載:-
       動态範圍:1215mm
       控制櫃:SR100
       用途:搬運、半導體

安川SEMISTAR-MR124機器人實物圖

       大動作範圍:EFEM模塊移動距離可達4套應用設備,無需使用底架,極大地提高了搬運效率。
       高速搬運:300枚/小時
       适用:300mm-450mm晶片搬運


安川 SEMISTAR-MR124 半導體晶片搬運用機器人  


       *1:本公司标準終端效應器(300mm:邊緣把持/真空吸着,450mm:真空吸)
       *2:300mm晶體(SEMI規格标準品),當使用本公司标準300mm對應終端校準器時
       *3:機械臂回旋中心位置~晶體中心位置(本公司标準300mm對應終端效應器時)
       *4:根據SEMI規格為基準的晶體規格。特殊石英晶體請與我司聯系。石英晶體也可對應(有業績)。但是根據石英規格,本公司需要進行評價和調整。
       *5:在0.3m/s的流量下,機械臂進行真空吸附


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